001 ， 002 和 003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。
001 型， 002 型， 003A 型 质量流量控制阀门技术参数
流量范围* ：从 0-5SCCM 到 0-500SLPM
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
操作压力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具体请参考表一
安装方向 ：对位置不敏感
额定工作电压 ： 4-11VDC （ 24VDC ）
额定工作电流 ： 150mADC （ 275 mADC ）
阀线圈电阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
重 量 ：请参考表一
结构材质
主体： 316 不锈钢
孔： 316 不锈钢
阀组件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材质（” O ”型环和阀座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
003A 型： Buna N ， Viton
* 注：上述流量范围反映的是氮气标定下产生的最小流量和流量，可采用其它介质的流量范围，当操作参数有疑问时为了***选型，请咨询厂家。
表 一
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型 号 |
流量范围 最小 / |
操作压力 PSIG （ MPa ） |
重 量 lbs （ Kg ） |
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001 |
0-5SCCM/0-10SLPM |
1000 （ 6.9 ） |
0.6 （ 0.27 ） |
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002 |
0-10SLPM/0-100SLPM |
1000 （ 6.9 ） |
2.1 （ 0.95 ） |
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003A |
0- 100SLPM /0-500SLPM |
200 （ 1.4 ） |
3.4 （ 1.54 ） |
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